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往復式真空泵（又稱活塞式真空泵）,屬于低真空獲得設備之一，它的極限壓力一般在1330～2660Pa，它的抽速范圍比較大，從50L/S到200L/S，適用于石油、化工、醫藥、食品、輕工、冶金、電氣等行業中的真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空蒸發、真空濃縮、真空結晶、真空干燥、真空過濾及混凝土的真空作業等方面的抽除氣體。往復式真空泵不適用于抽除含氧過高的、有爆炸性的、對金屬有腐蝕性的、與泵油會起化學反應的以及含有顆粒塵埃的氣體，也不適用于把氣體從一個容器輸送到另一個容器，作輸送泵用。

如圖為往復式真空泵的工作原理圖，往復式真空泵的主要部件是氣缸1及在其中作往復直線運動的活塞2，活塞的驅動是用曲柄連桿機構3（包括十字頭）來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5等重要部件，以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。

運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用（旋轉運動轉變成直線運動），使氣缸內的活塞作往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，左腔空間的壓強不斷的降低，當左腔空間內的壓強低于被抽容器內的壓強，根據氣體壓強平衡的原理，被抽容器內的氣體經過吸氣閥5不斷地被抽進左腔，此時正處于吸氣過程。 當活塞達到最右位置時，氣缸左腔內就充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5自動關閉。氣體隨著活塞從右往左運動而逐漸被壓縮。當氣缸內的氣體達到排氣壓力時，此時排氣閥4被打開，氣體被排出，完成了一個工作循環。當活塞在從左端向右端運動時，重復上述循環，直到被抽容器達到某一平衡壓力為止。

在往復泵中，吸氣閥和排氣閥是非常重要的部件且是易損部件，它們工作的好壞直接影響往復泵的極限壓力、抽氣速率、功率消耗以及運行的可靠性。